硅料酸洗工艺中的酸用什么酸

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/04 08:31:09
硅料酸洗工艺中的酸用什么酸

硅料酸洗工艺中的酸用什么酸
硅料酸洗工艺中的酸用什么酸

硅料酸洗工艺中的酸用什么酸
可以一般情况下是盐酸和硫酸
不过盐酸效果好一些 有点多
所以一般用盐酸可以 不过洗出来的效果一般 需要经过后续工艺才能改进表面质量.

用硝酸氧化,用氢氟酸络合,主要还是看你酸洗什么类型的硅料。再来决定硝酸和氢氟酸的比例