请问测厚度的仪器有哪些?

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/05/03 17:08:05
请问测厚度的仪器有哪些?

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请问测厚度的仪器有哪些?
厚度很薄的,一般在数十埃至几微米范围内的.为适应各种成分和结构的薄层的测厚要求,已研制成各种测量设备.像真尚有的传感器zlds100.采用比色法、干涉条纹法以及椭偏术等测量各种透明薄膜；采用磨角染色法、层错法、红外光反射法以及背散射技术等检验外延层厚度、扩散层和离子注入层的深度；采用间接干涉法和台阶仪等测量金属膜和多晶硅的厚度等.

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