差动电容式压力传感器为什么会提高灵敏度

来源：学生作业帮助网编辑：作业帮时间：2024/04/30 02:13:34

差动电容式压力传感器为什么会提高灵敏度
差动电容式压力传感器为什么会提高灵敏度

差动电容式压力传感器为什么会提高灵敏度

差动电容式传感器因其带电极板间的静电引力很小,所需输入力和输入能量极小,因而可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力高,能敏感0.01μm 甚至更小的位移；由于其空气等介质损耗小,采用差动结构并接成电桥式时产生的零残极小,因此允许电路进行高倍率放大,使仪器具有很高的灵敏度.

差动电容式压力传感器它的受压膜片电极位于两个固定电极之间,构成两个电容器.在压力的作用下一个电容器的容量增大而另一个则相应减小,测量结果由差动式电路输出.它的固定电极是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成.过载时膜片受到凹面的保护而不致破裂.差动电容式压力传感器比单电容式的灵敏度高、线性度好,但加工较困难（特别是难以保证对称性）,而且不能实现对被测气体或液体的隔离,因此不宜于工作在有腐蚀性或杂质的流体中.

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